日立制作所最近成功地开发出了具有世界最高分辨能力的"S－5200"扫描式电子显微镜，能够观察到0.5纳米（1纳米＝10亿分之一米）的微小物质。利用一台这样的显微镜可以测定观察物质表面的状况和立体图形。通过寻找物质细微的缺陷，可以提高半导体的生产效率和精度，可使用超精细加工技术开发新型材料。其价格在8400万日元以上。
这种电子显微镜采用的是日立公司独自开发的将观察物质插入对物镜片的方式，可以进行超细微领域的观察。此外，即使在极微小的范围内也能够除去对物质的污染。同以往相比，其耐震性提高了两倍以上。
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