目前商用干涉仪设计的一个难题就是抑制干涉仪能测量空间频率段的系统本征噪声,因为激光作为干涉仪的标准光源,它具有很强的时间和空间相干性,所以干涉系统里光学元件的缺陷(如灰尘、凹陷、伤痕、气泡等)会作为光散射的中心从而产生相干噪声,在干涉图里形成了牛顿环或靶心,为此,一些学者采用低相干光源或白光作为干涉仪的光源Ⅲ,或在成像系统加旋转毛玻璃以降低空间相干性。
发布日期:2011-05-06 浏览次数:1056
文章摘要:目前商用干涉仪设计的一个难题就是抑制干涉仪能测量空间频率段的系统本征噪声,因为激光作为干涉仪的标准光源,它具有很强的时间
目前商用干涉仪设计的一个难题就是抑制干涉仪能测量空间频率段的系统本征噪声,因为激光作为干涉仪的标准光源,它具有很强的时间和空间相干性,所以干涉系统里光学元件的缺陷(如灰尘、凹陷、伤痕、气泡等)会作为光散射的中心从而产生相干噪声,在干涉图里形成了牛顿环或靶心,为此,一些学者采用低相干光源或白光作为干涉仪的光源Ⅲ,或在成像系统加旋转毛玻璃以降低空间相干性。
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