0 引言
自1958年第一块集成电路在 TI公司产生微电子工业经历了飞速发展，线宽的缩小，集成度的增加都有了翻天覆地的变化。45纳米工艺的设备已经有很多的研制田，65纳米业已量产田。而CMO技术又是现在大规模集成电路的主流技术[3]，在现代信息处理和存储系统中，MOS器件被用于几乎所有的体系结构内。由于它所具有的独特的优势纳米 MOS器件必将还有相当长时间的生命期[4]而现在广泛需求的射频技术与 CMOS技术结合的射频集成电路 F IC1发展也受到了工业界的重视[4]
发布日期：2011-05-06 浏览次数：629
文章摘要：0引言自1958年第一块集成电路在 TI公司产生微电子工业经历了飞速发展，线宽的缩小，集成度的增加都有了翻天覆地的变化。45纳米工
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自1958年第一块集成电路在 TI公司产生微电子工业经历了飞速发展，线宽的缩小，集成度的增加都有了翻天覆地的变化。45纳米工艺的设备已经有很多的研制田，65纳米业已量产田。而CMO技术又是现在大规模集成电路的主流技术[3]，在现代信息处理和存储系统中，MOS器件被用于几乎所有的体系结构内。由于它所具有的独特的优势纳米 MOS器件必将还有相当长时间的生命期[4]而现在广泛需求的射频技术与 CMOS技术结合的射频集成电路 F IC1发展也受到了工业界的重视[4]
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