1引言
随着微纳制造和生物医学等技术的高速发展，对微运动测量技术提出了新的要求，测量精度提高到纳米级。研制高精度的新测量手段已经成为微纳制造和生物医学等技术发展的迫切需要。例如，许多生物学上感兴趣的问题都涉及到小运动的测量…纳米级精度微位移检测技术是纳米级精密工作台的关键技术之一目。此外，在设计MEMS(微机电系统)时，由于系统功能主要是通过微结构的微小位移和变形实现的，因此对 MEMS的位移等机械运动参数的测量已成为开发MEMS的重要内容。
发布日期：2011-05-06 浏览次数：400
文章摘要：1引言随着微纳制造和生物医学等技术的高速发展，对微运动测量技术提出了新的要求，测量精度提高到纳米级。研制高精度的新测量手
1引言
随着微纳制造和生物医学等技术的高速发展，对微运动测量技术提出了新的要求，测量精度提高到纳米级。研制高精度的新测量手段已经成为微纳制造和生物医学等技术发展的迫切需要。例如，许多生物学上感兴趣的问题都涉及到小运动的测量…纳米级精度微位移检测技术是纳米级精密工作台的关键技术之一目。此外，在设计MEMS(微机电系统)时，由于系统功能主要是通过微结构的微小位移和变形实现的，因此对 MEMS的位移等机械运动参数的测量已成为开发MEMS的重要内容。
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