静电悬浮加速度计的核心传感器是 由质量块和电极构成的敏感结构，质量块一般为金属钛 、铂金等磁导率低的金属材料 ，电极材料一般为硅酸钛陶瓷、石英等膨胀系数非常小的非金属。通过超声加工、研磨等手段使敏感结构的形位精度优于1肚m，组装后的敏感结构，质量块与电极之间平均距离只有几十微米到几百微米，形成的电容也只有几十皮法。
发布日期：2011-05-06 浏览次数：1081
文章摘要：静电悬浮加速度计的核心传感器是 由质量块和电极构成的敏感结构，质量块一般为金属钛 、铂金等磁导率低的金属材料 ，电极材料一
静电悬浮加速度计的核心传感器是 由质量块和电极构成的敏感结构，质量块一般为金属钛 、铂金等磁导率低的金属材料 ，电极材料一般为硅酸钛陶瓷、石英等膨胀系数非常小的非金属。通过超声加工、研磨等手段使敏感结构的形位精度优于1肚m，组装后的敏感结构，质量块与电极之间平均距离只有几十微米到几百微米，形成的电容也只有几十皮法。
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