好氧生物流化床废水处理技术发展于70年代初期，它以生物膜法为基础，吸取了化工操作中的流态化技术，形成了一种高效的废水处理工艺，是生物膜法的重要突破。内循环三相生物流化床是近十年来发展起来的一种新型好氧流化床反应器，它与传统三相流化床不同之处在于反应器的反应区部分分成升流区和降流区，当在升流区进行曝气充氧时，由于升流区和降流区的密度差，使得废水、载体及气泡在升流区和降流区之问循环流动，整个反应器内载体受到的剪切与摩擦力基本均匀一致，因此不会出现传统三相生物流化床内因生物膜增厚、载体变轻而在床内分层的现象，同时由于床内水力摩擦、剪切较为剧烈，故过厚的生物膜会自行脱落，从而达到控制膜厚的目的。迄今为止，国内外已利用内循环三相生物流化床进行了多种废水的处理试验，显示了这种新型反应器的优越性。