液晶面板在传统制造程序中需大量的水洗，不但费水，也产生废水处理的困扰，日本研发的二氧化碳干式洗净装置，除可降低设备运转成本，还可将洗净剂回收循环使用，产出高品质、高洁净度产品。
二氧化碳干式洗净装置可由液化二氧化碳经过特殊装置制作成3毫米以下的颗粒状干冰，利用喷射原理撞击被加工物，使沾附在工件上的污染物质脱落，并由集尘装置收纳，另可搭配界面活性剂灵活运用，有效突破传统湿式洗净方式的缺点，使作业环境不再被污染，不再产生有机溶剂的化学异味，不破坏臭氧层，不排废水。
此外，该设备轻巧、操作简单，洗净效率高，适合洁净度要求甚高的高科技设备内各类塑胶元件、机械零配件等使用。