工业生产中排出的有害气体种类很多，主要有二氧化硫、氟化氢、氯氧化物、汞蒸气、铅烟、苯、沥青烟、硫酸雾、铬酸雾、氯气、一氧化碳等。有害气体种类不同，处理的方法也不一样。主要有冷凝法、燃烧法、吸附法、催化转化法、吸收法、机械分离法、静电除雾法等。
在这些方法中因处理的有害气体性质不同，往往把两种或两种以上的方法组合起来使用。例如，冷凝—燃烧法、冷凝—吸附法、吸附—催化转化法、冷凝—吸收—吸附法等。用什么方法组合，应考虑投资不多，操作方便，能达到排放标准，运转费用少等多种因素。当然，同一种净化方法也可以选择不同的净化设备进行组合。这种组合也是在考虑了上述诸因素之后进行的。