目前，工业上应用的净化回收流程多为湿法。湿式净化以水或碱性溶液为吸收剂，洗涤吸收废气中的气态氟化物。HF和 SiF4都是易溶于水的物质，在净化过程中可以达到很高的净化效果。
湿式装置的流出液达 到一定浓度后，可以进一步加工制成有用的氟化物。这一回收工艺分为酸法和碱法两类。酸法回收以水为基础，生成氢氟酸溶液再加工成氟化盐。这种流程的优点是产品的纯度和价值较高。其缺点是腐蚀严重，设备材料要求特殊碱法回收以碱性溶液为基础，生成物是氟化钠或其他氟化物。这种方法虽然克服了腐蚀问题，但结垢堵塞成了制命弱点。
酸法有氟化铝祛和冰晶石合成法。碱法有碳酸化法，碳酸氢钠法，一次合成法，以及硫酸铝法和氨法等。采用何种方法需因地制宜地根据当地原料和产品市场情况加以选定。